高真空高解析度電性量測儀完成

  為解決量測奈米材料電性問題,國立東華大學馬遠榮教授研究團隊、與中央研究院物理研究所劉鏞博士團隊合作,自製一部高真空高解析度電性量測儀,其設計獨步全球、操作簡單,可量測每一根奈米線、或奈米柱的電阻(或電阻率),不但方便簡易、價格便宜,又無須使金屬接頭的尺寸奈米化,故對未來半導體產業奈米電子元件,有重要的影響。
東華大學物理學系教授馬遠榮表示,對科學家而言,要量測奈米材料的電阻(或電阻率),是一件困難且有爭議的事,主因奈米材料太過渺小,而普通的量測金屬接頭太過巨大,量測奈米材料好像大海撈針般,無法取得到真正量測結果。
有些科學家也將金屬接頭的尺寸奈米化,方便與奈米材料連接,以量測奈米材料的電阻(或電阻率),但這樣的技術非常繁瑣與複雜,且所費不貲;又因金屬奈米接頭尺寸過小,易將其燒毀,故所得的量測結果常常不能重覆,令人擔心結果的正確性。
為解決量測奈米材料電性問題,國立東華大學馬遠榮教授研究團隊、與中央研究院物理研究所劉鏞博士團隊合作,自製一部高真空高解析度電性量測儀,以球形金屬接頭精確地接觸整束的奈米線、或奈米柱,因每一根奈米線、或奈米柱都代表一根電阻,故當接上電源時,電流會被每根奈米線、或奈米柱分流,故不易燒毀奈米線、或奈米柱,又可重覆得到量測其電性結果,大大提升量測電性的精確度與可信度。
此研究由國科會支持,成果刊載於今年十月《自然》(Nature)子期刊─《科學報導》(Scientific Reports)中。馬遠榮教授也因對奈米科學與技術的貢獻,接受《科學報導》(Scientific Reports)之邀請,成為該期刊編輯委員會委員,參與該期刊有關奈米科學與技術文章的送審定奪。國立東華大學團隊與自製高真空高解析度電性量測儀合影馬遠榮教授(上排右一)、博士後研究員狄凡(Rupesh_S._Devan)博士(上排左一)、與博士生藍傑特(Ranjit_A._Patil)。中央研究院物理研究所團隊正研究員劉鏞博士(下排左一)、與博士後研究員林金漢博士(下排右一)。